酸化ガリウムの超高純度化に成功

アドバンスト・フローティングゾーン法による結晶育成では、偏析作用によりが原材料よりも高純度の結晶が育成されます（ゾーンリファインニング／ゾーンメルティング）。化学合成プロセスとは異なる物理的プロセスなので併用が可能で、化学合成プロセスで高純度化された酸化ガリウム原料をより高純度化することが可能です。また繰り返し行うことで純度を上げ続けることも可能です。

不純物濃度を10ppm以下で公証している原材料（5N）を用いAKT-AFZ法による結晶育成を行うことで不純物濃度を2.2ppmにまで純度を向上させることができました。

ゾーンリファインニングによる物理的高純度化の結果と考察します