単結晶

単結晶とは

単結晶
原子が規則正しく整列した状態です。

 

結晶は、さまざまな高機能デバイスの開発や製造使われます。

その性質上、際立った性質を示すだけでなく、我々が材料の性質を正しく理解するために必要な形態だからです。

 

AKT-lab.の結晶製造技術

 

AKT-lab.の特許取得の結晶製造システムは単結晶材料を高純度スピーディー合成するのに

最適な技術です。

 

例えば、これから訪れると言われているIoTの世界、そこでは多種多用な高機能材料が、個別に対応できるのが当然のように要求されます。

 

このIoT時代のニーズにマッチした小ロット多品種材料を開発製造を、AKT-lab.の結晶製造システムが実現します

AKT-lab.のミッション

 

材料の基礎と応用である単結晶
AKT-lab.は 先進的な基礎技術からものづくりを基盤から支えるため、要となる単結晶の製造技術をより高度にするために邁進し続けます。

お問合せはこちらまで

AKT-アドバンスト・ペデスタル法


AKT-アドバンスドペデスタル法は不可能を可能にするために開発された結晶製造装置です

 

 

単結晶の試作はハードルが高い。」

 

 〇白金やイリジウムなどの高価な金属の坩堝が必要でコストが高くつく。

 〇試作に時間がかかる

 〇試作には匠の技が必要

 

単結晶の試作には人もコストも時間も特別に必要、これがハードルの高さの要因でした。

 

AKT-lab.がそのハードルを取り去りさりました。

 


AKT-アドバンストペデスタル法の概念図

AKT-アドバンスドペデスタル法の概念図

AKT-アドバンストフローティングゾーン法

AKT-アドバンスト・フローティングゾーン法結晶製造装置 AKT-AFZ/2000

例えば、新世代LED用基板やパワー半導体デバイス用途として注目されている

酸化ガリウムのバルク単結晶。

酸素を含まない雰囲気中で製造するのは極めて難しい材料特性をもっています。

 

Akt-lab.の技術なら、従来のFZ法では不可能だった2インチサイズの坩堝レス

単結晶成長も可能。

しかも高純度かつ高品質はAKT-アドバンストペデスタル法と変わることがありません。 

酸化ガリウム結晶はサイズよりも純度、品質です。

解説記事を書きました。

 AKT-アドバンストフローティングゾーン法 その1

 AKT-アドバンスフローティングゾーン法 その2

 

AKT-アドバンストフローティングゾーン法はAKT-lab.の特許技術です。

 

※一部、加熱方式の改良で大口径の単結晶成長を可能としたとする技術があるようですが、

 シードタッチ~ネッキング~径拡大~大口径結晶成長 この一連の結晶成長の流れを網羅

 して高品質単結晶成長を実現できるのはAKT-lab.のオリジナル技術です。

 

 

お問い合わせは、こちらこちらから。

酸化ガリウムの超高純度化に成功

アドバンスト・フローティングゾーン法によるゾーンリファインニング

アドバンスト・フローティングゾーン法による結晶育成では、偏析作用によりが原材料よりも高純度の結晶が育成されます(ゾーンリファインニング/ゾーンメルティング)。化学合成プロセスとは異なる物理的プロセスなので併用が可能で、化学合成プロセスで高純度化された酸化ガリウム原料をより高純度化することが可能です。また繰り返し行うことで純度を上げ続けることも可能です。

不純物濃度を10ppm以下で公証している原材料(5N)を用いAKT-AFZ法による結晶育成を行うことで不純物濃度を2.2ppmにまで純度を向上させることができました。

ゾーンリファインニングによる物理的高純度化の結果と考察します


電磁浮遊

導体の周囲にコイルを巻き、そのコイルに高周波電流を流すと導体には「ローレンツ力」という力がかかります。 

この「ローレンツ力」は導体の中心方向に働きます。つまり、導体に対して「圧縮力」を生みます。

 

このコイルを上に向かって広がるらせん状に巻くとどうなるでしょう。

よくテレビの科学番組でやっていますね。 コイルの中で金属が溶けた溶融体が浮遊しているもの。

あれは、高周波加熱により金属が溶融し、さらにローレンツ力により浮遊していたのが理由です。

ローレンツ力が強すぎますと、金属の溶融体が飛んでいってしまいますので、通常はこの上に逆向きのコイル(ローレンツ力の合力が下に向く)を配し、金属の溶融体が一箇所にとどまるようにします。


ところで、この技術を結晶成長に活かせないでしょうか。

 

一部、特殊な用途の半導体用シリコン単結晶の製造に用いられていますが、高周波は加熱が主な役目で浮遊は副次的な効果です。

 

そこで、AKT技術研究所は考えました。

材料の加熱は赤外線に任せ、高周波によるローレンツ力は浮遊力のみに特化させれば、多くの結晶成長工程の課題が克服されると。

これが、高周波印加型 AKT-AP法とAKT-AFZ法です。

「AP法で安定的に直径の太い結晶をつくりたい。」

「AFZ法でより直径の太い結晶を、融液を垂れさせる心配なくつくりたい。」

Si-Geのように、比重の著しく異なる材料からなる化合物を、重力による制約から解放して自由に設計したい。」

 

このような要望にお答えするのが、AKT技術研究所の電磁浮遊技術です。

 

高周波印可型のAKT-AP法とAKT-AFZ法はAKT-lab.の特許技術です。

 


特許情報


 なお、本特許はPCTルートによる海外出願中です。 移行先の諸国については随時報告します。


特許

 特許第6006191号 単結晶製造装置および単結晶製造方法


特許

 特許第6106815号 単結晶製造装置および単結晶製造方法


特許

 特許第6122193号 単結晶製造装置および単結晶製造方法


特許

 特許第6765283号 単結晶製造装置および単結晶製造方法


米国特許

 9,970,124 Single crystal production apparatus and single crystal producing method


米国特許

 11,028,497 Single crystal production apparatus and single crystal producing method


米国特許

 10,975,793 Single crystal production apparatus and single crystal producing method